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2020 - 06 - 17
運(yùn)轉(zhuǎn)中的旋片真空泵,如果進(jìn)行了不適當(dāng)?shù)牟僮鳎婵毡玫恼婵斩葧档停?jīng)常會發(fā)生冒煙、噴油、油封漏油、噪音等現(xiàn)象,以及泵內(nèi)真空泵油的乳化等現(xiàn)象。 萬一發(fā)生這種情況時(shí),首先不要恐慌,癱瘓后配合故障解決故障。 以下是旋片真空泵故障的排除方法,希望能對大家有所幫助!  一、旋片真空泵的煙和噴射:旋片真空泵在運(yùn)轉(zhuǎn)中從排氣口冒煙或噴射煙  1、冒煙:泵剛開始運(yùn)轉(zhuǎn)有冒煙現(xiàn)象就正常,長時(shí)間冒煙就不正常。 解決辦法:發(fā)煙在泵吸氣口外,說明管道、閥門、容器均已修好。 因?yàn)闄z測出泄漏后再處理,所以冒煙就結(jié)束了。  2、噴油:說明進(jìn)氣口外有大量漏點(diǎn),進(jìn)氣口暴露在大氣中。 解決方法:堵塞泵的吸氣口,運(yùn)行泵,如果不噴射油,則檢查說明有泄漏點(diǎn)的排氣閥座是否破損,更換破損的排氣閥座。  二、旋片真空泵的噪音:這里指泵的噪音  1、爆震缸:泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)發(fā)出不規(guī)則的聲音,就像金屬敲打金屬的聲音。 這是旋轉(zhuǎn)體敲打泵體的聲音。 這主要是因?yàn)閷Ψ降男D(zhuǎn)片間的彈簧斷開、收縮、飛出的原因。 解決方法:打開泵,檢查螺旋彈簧是否損壞。 更換的彈簧。  2、排氣閥座噪音:主要是泵的排氣閥座破損。 解決方法:更換的排氣閥座。  三、旋片真空泵的真空度下降  是指現(xiàn)在測定的旋片真空泵的真空度比出廠時(shí)的指標(biāo)和以前使用時(shí)的真空度低。 真空度低的原因有很多,這里介紹幾個(gè)主要情況。  1、由于真空泵的油號不同,油內(nèi)的飽和蒸氣壓也不同,結(jié)果也不同。...
2020 - 06 - 20
維修旋片真空泵時(shí)應(yīng)該注意什么?今天小編給了你分享三個(gè)維修旋片真空泵應(yīng)該注意的要點(diǎn),希望對你有所幫助!  一、從真空系統(tǒng)上拆下旋旋片真空泵。排干油。首先拆下低真空端,然后取下后端板,取下低真空轉(zhuǎn)子和鍵。然后拆下前端板,取出真空轉(zhuǎn)子、旋轉(zhuǎn)葉片、彈簧等。拆下觀察窗、排氣閥和排氣蓋。用汽油或酒精徹底清潔所有零件。拆卸時(shí),應(yīng)注意每個(gè)部件的位置、方向和緊密度。拆卸下來的部件應(yīng)分開放置,不允許混合在一起并相互磨損。檢查所有零件,看是否有任何磨損或擦傷、碎裂和其他不良現(xiàn)象,并酌情修理或更換。  特別注意前后端板上發(fā)現(xiàn)的較大程度的劃痕,這表明轉(zhuǎn)子在裝配過程中不垂直于中間隔板,應(yīng)調(diào)整定位銷。如果太嚴(yán)重,應(yīng)該修理或更換。檢查旋片真空泵的間隙:將高轉(zhuǎn)子分別放入高真空室,低轉(zhuǎn)子放入低真空室,用刀口尺和測厚儀檢查間隙,兩端間隙應(yīng)基本相等。      二、組裝前應(yīng)清洗和干燥,然后組裝。首先安裝高真空端,提起彈簧轉(zhuǎn)子并將其安裝到高轉(zhuǎn)子中,然后將其放入高真空室內(nèi),安裝前端板,然后安裝定位銷,均勻擰緊螺釘,確保組裝后轉(zhuǎn)動(dòng)靈活、輕松、均勻。然后安裝低真空轉(zhuǎn)子和后端蓋。低轉(zhuǎn)子的槽應(yīng)朝向后端板。再次安裝排氣閥。安裝其他零件前,排氣閥片應(yīng)靠近閥板。  三、組裝旋旋片真空泵時(shí)應(yīng)注意,所有旋轉(zhuǎn)部件應(yīng)先用真空油擊打,注意清潔,嚴(yán)禁鐵屑、泥漿、沙子和灰塵落入泵內(nèi),定位銷要接觸良好,安裝好的旋旋片真空泵應(yīng)易于旋轉(zhuǎn),無不均勻旋轉(zhuǎn)重量,且...
2020 - 06 - 24
根據(jù)真空系統(tǒng)的不同,所要求的真空度也不同。 因此,很多情況下,必須用一組真空系統(tǒng)來完成。 也就是說,必須用在不同壓力范圍內(nèi)工作的真空泵連接。  高真空側(cè)的真空泵可以達(dá)到系統(tǒng)要求的真空度,但低真空側(cè)的真空泵可以直接排氣大氣。 最簡單的真空系統(tǒng)是排出大氣的真空泵。 但是,高真空系統(tǒng)一般需要三級機(jī)組,中真空一般需要二級機(jī)組。  一臺高真空泵和一臺低真空泵難以構(gòu)成有效的高真空系統(tǒng)。 這有幾個(gè)理由。 流量的連續(xù)性就是其中之一。 高真空泵有前段耐壓的限制。 也就是說,如果前段高于某個(gè)壓力,泵就不能正常工作。 當(dāng)前級泵達(dá)到該臨界壓力時(shí),吸引速度減少,前級泵的排氣(651-235 )有可能小于主泵的排氣(651-235 ),該(651-235 )的不一致會破壞(651-235 )連續(xù)性的要求,真空系統(tǒng)必然會正常工作但是,如果在高低真空泵之間連接另一臺真空泵,則發(fā)揮從上到下的作用,流量各泵連續(xù)地以最佳狀態(tài)工作。 羅茨泵可以在中真空范圍內(nèi)工作,因?yàn)樽詈线m,也稱為羅茨加壓泵,壓縮比不高,正好可以連接數(shù)Pa到數(shù)百Pa的范圍。 三級高真空機(jī)組進(jìn)入為高真空度時(shí),主泵的排氣流量顯著減少,因此此時(shí),僅用小的前級泵就能維持排氣的連續(xù)性,能夠以實(shí)際運(yùn)用中常采用的方法,減少機(jī)組的能量消耗。  高真空機(jī)組經(jīng)常需要三級機(jī)組的另一個(gè)原因是高真空泵吸入壓力的限制。 泵有啟動(dòng)壓力,傳統(tǒng)的高真空泵在數(shù)Pa的范圍。 因此,前級泵必須...
2020 - 07 - 02
在真空泵領(lǐng)域,作為企業(yè)的使用不再是簡單的操作維護(hù),而是更有效地進(jìn)行維護(hù)能最大限度地發(fā)揮真空泵和附件的使用性能,真空泵消耗品:真空泵專用油,濾油器,油霧分離器,空氣過濾器。  1.真空泵油  真空泵油是適用于不同類型真空泵的專用油,或適用于不同環(huán)境的專用油。  真空泵油更換時(shí)間:最初的油更換是在真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)150小時(shí)后進(jìn)行更換。 之后,油交換時(shí)間通常是500-1000小時(shí)或6個(gè)月,但是在工藝要求不同或惡劣的環(huán)境下使用時(shí),必須在實(shí)際情況下進(jìn)行交換。 例如,在空氣中含有大量水分.含有大量粉塵等的情況下,必須觀察油狀況并立即更換真空泵油。  2.機(jī)油過濾器  濾油器對油式回轉(zhuǎn)泵有過濾油中的異物的作用,真空泵工作中吸入微小異物會堆積在油中,經(jīng)過時(shí)間油變質(zhì),濾油器會過濾油中堆積的異物,延長油的壽命。  去除真空泵油中的雜質(zhì):如泵吸入空氣中的雜質(zhì),高溫下油本身的碳化雜質(zhì),真空狀態(tài)的物質(zhì)的結(jié)晶雜質(zhì)等,在油循環(huán)過程中有很好的過濾作用。  3.油霧分離器(油分)  排氣口精密過濾器是對排氣口中含有的精密進(jìn)行過濾的過濾器,能夠降低油耗,減少排出油對環(huán)境的污染,起到節(jié)能環(huán)保的作用。  更換時(shí)期:通常的更換時(shí)期必須是半年或一年。 這個(gè)可以根據(jù)實(shí)際情況交換。 排氣口發(fā)現(xiàn)煙.黑煙.油霧時(shí),必須更換油分。  4.空氣濾芯  標(biāo)準(zhǔn)的吸氣過濾器是對吸氣口的空氣中含有的粉塵(灰塵)進(jìn)行過濾的過濾器,有的是紙,有的是無紡布...
2020 - 07 - 07
通過真空泵的應(yīng)用,有效降低造紙成本,提高紙張質(zhì)量是節(jié)能技術(shù)的愿望。 今天,我們正在討論羅茨真空泵在造紙行業(yè)的應(yīng)用和選定。 在紙漿造紙技術(shù)工藝中,真空脫水方法可以應(yīng)用于脫水工藝,羅茨真空泵抽真空是造紙脫水的常用方法。  一般來說,造紙生產(chǎn)線規(guī)定的基準(zhǔn)吸引量是一定的,但真空泵的選定很重要,以減少能源消耗,節(jié)約生產(chǎn)成本。 對造紙產(chǎn)業(yè)來說,羅茨真空泵通常代替水環(huán)式真空泵工作。 因此,比較羅茨真空泵和水環(huán)真空泵的經(jīng)濟(jì)效果是造紙廠的第一個(gè)問題,當(dāng)然,這也關(guān)系到羅茨真空泵的選定問題。  檢查一個(gè)造紙真空脫水系統(tǒng)的羅茨真空泵的選定是否適用的標(biāo)準(zhǔn)主要如下  1.呼吸力  2.動(dòng)作點(diǎn)軸功率  3.電機(jī)功率  在選定羅茨真空泵時(shí),吸引力滿足生產(chǎn)線的工藝要求的情況下,可以盡可能減少洛茨真空泵的工作點(diǎn)的軸力,在羅茨真空泵消耗的軸力小的情況下,制漿造紙的生產(chǎn)成本進(jìn)一步變小,馬達(dá)的設(shè)置力也小的情況下,電配置成本也得到抑制  以下造紙工藝的工藝需要真空脫水的方法  1.粗漿洗機(jī)  洗滌器的滾筒型內(nèi)腔能夠產(chǎn)生真空,當(dāng)滾筒在原料漿中運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),真空能夠使原料附著在滾筒表面,從原料上洗掉黑液。  2.沉淀物過濾器  紙漿造紙工廠的沉淀物過濾機(jī)是在滾筒內(nèi)側(cè)產(chǎn)生真空條件,可以接收來自綠色液的粒子的水平滾筒過濾機(jī)。  3.真空脫水機(jī)  真空脫水機(jī)是一種可以在原料準(zhǔn)備階段進(jìn)行脫水作業(yè)的水平滾筒式過濾機(jī),實(shí)現(xiàn)從紙漿中的比例脫水,提高...
2020 - 07 - 10
真空泵檢修注意事項(xiàng):  1.切斷電源,拔下電源插頭。如果泵在系統(tǒng)上,應(yīng)將其從設(shè)備上拆下。  2.擰松打開的放油螺栓放油,用手轉(zhuǎn)動(dòng)皮帶輪,使真空泵泵腔內(nèi)的殘余油全部排出。油應(yīng)該收集好。一般情況下,在真空泵的底板下放置一個(gè)鐵油盤或磁盤(俗稱方盤),以便日后蒸餾回收,避免環(huán)境污染。  3.取下皮帶、滑輪和鑰匙,松開底板。取決于電機(jī)的好壞程度(如發(fā)熱、臟污、干磨噪音、大振動(dòng)等)。),應(yīng)進(jìn)行修理或派電工進(jìn)行油沖洗和修理。  4.首先拆下低真空端蓋板(后端蓋板,即遠(yuǎn)離泵輪的一端),拆卸時(shí)根據(jù)不同的螺釘使用不同的工具。對于一般的六角螺絲,可以使用扳手;對于內(nèi)部六角螺釘,應(yīng)使用內(nèi)部六角扳手;如有必要,應(yīng)使用套筒扳手,以免損壞螺釘。擰下端蓋螺釘后,輕輕打開端蓋。如果端蓋緊緊關(guān)閉,試著慢慢打開。例如,可以用銼刀在泵腔和端蓋板之間的接合處銼出一個(gè)小槽,然后將螺絲刀(螺絲刀)插入小槽中,用手敲擊螺絲刀手柄,或者用小錘子敲擊螺絲刀,使其脫離端蓋板,不得再次錘擊。  5.如果用橡膠墊圈密封,拆下橡膠墊圈并退出定位銷。  6.取出轉(zhuǎn)子和轉(zhuǎn)子。通常,在低轉(zhuǎn)子的末端,有兩個(gè)已經(jīng)被攻絲的絲錐,然后通過用螺桿擰入絲錐可以容易地拔出低轉(zhuǎn)子。然而,應(yīng)該注意的是,當(dāng)拉出轉(zhuǎn)子時(shí),必須用手緊緊地夾住轉(zhuǎn)子。由于轉(zhuǎn)子受到較大的彈簧力,很容易飛出落到地面或碰到堅(jiān)硬的物體,這將損壞轉(zhuǎn)子的棱角,造成無端的報(bào)告。  7.拆下高真空端,取出高...
2020 - 07 - 16
首先,旋片真空泵不改變維護(hù)點(diǎn)。這種情況下,不能先打開泵,以免故障惡化。  真空泵可以不旋片地旋片。原因是真空泵聯(lián)軸器異常。旋片真空泵的皮帶可能打滑,馬達(dá)接線不正確,馬達(dá)損壞,或馬達(dá)不通電。  真空泵不工作或磁盤很重。也許真空泵的溫度太低,真空泵油的粘度太高,設(shè)計(jì)和制造的原因太多。  如果油位過高,則過剩的油從泵中返回,過剩的燃料和水蒸氣通過泵凝結(jié),或者通過排氣管凝結(jié)的水被返回到泵中,異水環(huán)真空泵物被返回到泵中進(jìn)入。泵體,旋片葉片咬住。  其次,真空泵維護(hù)的泵溫度過高  主要是因?yàn)樵谂艢忾y附近測定的最高油溫超過了規(guī)定值。隨著真空泵溫度的提高,真空泵油的粘度大大降低,真空泵油的飽和蒸氣壓增加,泵的極限壓力增加,泵冒送效率降低,因此橡膠部件被加速、老化、熱膨脹,操作變得可靠。由于以下理由,真空泵的溫度太高了。一是真空泵工作環(huán)境溫度過高,氣溫過高,泵冷卻裝置故障,泵長時(shí)間連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。中壓太高,旋片真空泵水冷卻泵冷卻水。循環(huán)水不足和自冷卻系統(tǒng)設(shè)計(jì)差,泵散熱差。因此,維護(hù)的主要方面是使用更好的粘度潤滑劑,修正泵冷卻系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)良好的散熱。  當(dāng)旋片真空泵的安裝高度增加時(shí),旋片真空泵內(nèi)的壓力就會降低,泵壓力的最低點(diǎn)一般位于葉輪葉片入口的后點(diǎn)附近。這里的壓力在輸送液體的溫度下下降到飽和蒸汽壓力后沸騰,隨著液體從入口向外周流動(dòng),壓力急劇上升,產(chǎn)生的蒸汽泡急速凝結(jié)。這種液體以較大的速度從氣泡周邊流入氣泡中...
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2019 - 12 - 02
導(dǎo)熱油泵的日常維護(hù)  1、觀察從傳輸介質(zhì)傳遞到導(dǎo)熱油泵的泵蓋和軸承的熱量,并且泵蓋和軸承座的表面會散熱,從而使軸承座的溫度適應(yīng)溫度軸的密封性能。因此,在選擇導(dǎo)熱油泵的安裝位置時(shí),泵蓋和軸承座的熱量應(yīng)易于散發(fā)而沒有任何蓄熱現(xiàn)象。  2、軸承座中提供了兩個(gè)滾珠軸承。傳熱油潤滑在導(dǎo)熱油泵的泵葉輪側(cè)的一個(gè)滾珠軸承,在聯(lián)軸器側(cè)的一個(gè)滾珠軸承用高溫油脂潤滑:每個(gè)滾珠在軸承運(yùn)行3000小時(shí)后,必須將其卸下并用柴油清潔。檢查接觸面是否損壞。如果損壞,則必須更換新軸承。在葉輪側(cè)安裝滾珠軸承時(shí),應(yīng)將防塵罩的一側(cè)朝向葉輪安裝,并在啟動(dòng)前注入導(dǎo)熱油。聯(lián)軸器側(cè)的滾珠軸承由復(fù)合鈣基高溫潤滑脂制成。重新安裝軸承時(shí),還必須將帶防塵罩的一側(cè)朝葉輪側(cè)安裝,并在安裝過程中注滿油脂。軸承運(yùn)轉(zhuǎn)48小時(shí)后,請使用注油槍向軸承蓋上的注油杯注滿潤滑脂。  3、導(dǎo)熱油泵中使用的燃料必須清潔且無任何雜質(zhì)和濕氣。  4、在導(dǎo)熱油泵開始運(yùn)行時(shí),少量泄漏是正常現(xiàn)象。一段時(shí)間后,密封表面將關(guān)閉,泄漏將減少或停止。由于導(dǎo)熱油泵軸的前端裝有填料函,因此密封性能更加可靠,并且在軸承座中安裝了機(jī)械密封。因此,不會發(fā)生大量泄漏、,并且少量泄漏可通過泄漏噴嘴排出。  5、停止:切斷電源。排空導(dǎo)熱油泵中的液體,對其進(jìn)行清潔,并定期將葉輪旋轉(zhuǎn)180度,以防止軸變形,直到油泵完全冷卻為止。  6、導(dǎo)熱油泵必須使用標(biāo)簽正確的燃料。通常,夏季使用0號柴油,冬季使...
2019 - 12 - 06
通過對近年來深圳真空應(yīng)用領(lǐng)域的觀察和分析,不能盲目地維持真空泵的發(fā)展。許多大型項(xiàng)目所需的真空系統(tǒng)主要是具有環(huán)保概念和強(qiáng)耐腐蝕性的應(yīng)用產(chǎn)品。整個(gè)真空市場一直在向無油系統(tǒng)產(chǎn)品緩慢發(fā)展,并逐步形成了升級模式。 螺桿真空泵的需求也在逐年增加。  真空市場將從石油時(shí)代躍升至無油時(shí)代。這一變化極大地促進(jìn)了螺桿真空泵的發(fā)展。盡管目前的技術(shù)與國外技術(shù)還相距甚遠(yuǎn),但國內(nèi)技術(shù)力量不可忽視。國內(nèi)的科技人員對產(chǎn)品的研發(fā)非常感興趣,這種持之以恒的態(tài)度是無與倫比的。這種類型的真空泵以其高抽速,結(jié)構(gòu)簡單,環(huán)保和無污染的優(yōu)點(diǎn)迅速占領(lǐng)了市場。許多國內(nèi)公司也希望獨(dú)立生產(chǎn),但由于技術(shù)限制,他們?nèi)栽谟^望中,但是該產(chǎn)品的未來必將成為Go的主流。  螺桿真空泵的推出改變了國內(nèi)用戶的需求。企業(yè)的環(huán)境保護(hù)得到了加強(qiáng)。 意識增加了選擇適合自己生產(chǎn)的設(shè)備的要求。設(shè)備的選擇與企業(yè)的發(fā)展有關(guān)。精密設(shè)備是每個(gè)用戶的必然選擇。  因?yàn)槁輻U真空泵只有一對螺釘,并且螺釘與螺釘之間有一定的間隙,所以螺桿真空泵的聲音非常小,并且在運(yùn)行過程中速度均勻。最重要的是,在工作期間不需要潤滑劑。因此,干式真空泵可以在水蒸氣較多的環(huán)境中工作,并且是非常節(jié)能的真空產(chǎn)品。  目前,隨著真空泵產(chǎn)品的不斷上市,我們的普通真空泵已不能滿足無油條件,因此干式真空泵在市場上的競爭日益加劇,因此螺桿真空泵已取代了許多真空泵。產(chǎn)品,許多無油真空泵已替換為無油真空泵,許多公司已將...
2019 - 12 - 11
真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式可變?nèi)莘e輸氣泵,包括干螺桿真空泵,水環(huán)泵,往復(fù)泵,滑閥泵,旋片泵,羅茨泵和擴(kuò)散泵。它具有相對較寬的壓力范圍。抽速大等特點(diǎn)廣泛應(yīng)用于冶金,化工,食品,電子涂料等行業(yè)。真空泵的維護(hù)表明,真空泵的質(zhì)量取決于其機(jī)械結(jié)構(gòu)和油的質(zhì)量,在使用真空泵時(shí)必須對其進(jìn)行保護(hù)。如果蒸餾出揮發(fā)性更高的有機(jī)溶劑,則有機(jī)溶劑將被油吸收,這將增加蒸氣壓,從而降低抽空效率。如果是酸性氣體,它將腐蝕油泵。如果是水蒸氣,它將使油變成牛奶。渾濁的液體從真空泵中吸出。接下來,我們將通過真空泵維修來分享產(chǎn)品的維護(hù)方法。希望對大家有幫助。  為了確保真空泵設(shè)備的正常,安全,可靠和經(jīng)濟(jì)的運(yùn)行,確保工藝要求并生產(chǎn)合格的產(chǎn)品,小編認(rèn)為,使用真空泵時(shí)需要注意以下幾點(diǎn):  1.必須在蒸餾系統(tǒng)和真空泵之間安裝吸收裝置。  2.在蒸餾之前,必須使用水泵將有機(jī)溶劑蒸氣從系統(tǒng)中完全除去。  3.如果可以使用水泵泵送空氣,請嘗試使用水泵。如果蒸餾物包含揮發(fā)性物質(zhì),則可以先使用泵降低壓力,然后再使用油泵。  4.減壓系統(tǒng)必須密閉和氣密。所有橡膠塞必須具有適當(dāng)?shù)某叽绾屯ǖ馈O鹉z管必須是真空橡膠管。毛玻璃上涂有真空潤滑脂。  關(guān)于如何維護(hù)真空泵,我整理了一些信息,并通過真空泵維修來分享產(chǎn)品的維護(hù)方法。  1、請勿在寒冷的環(huán)境中使用。  2、可以在使用前正確預(yù)熱。  3、向軸承體中添加軸承潤滑油。觀察油位應(yīng)在油標(biāo)的中心線,并應(yīng)及時(shí)更換或...
2019 - 12 - 14
羅茨真空泵維修廠家介紹了使用羅茨真空泵的溫度注意事項(xiàng)。在羅茨真空泵運(yùn)行期間,溫度變化也在側(cè)面表示。 羅茨泵設(shè)備是否處于良好狀態(tài)。因此,在使用設(shè)備時(shí),必須更加注意溫度的變化。一旦溫度顯著升高或降低,設(shè)備內(nèi)部必然存在問題,需要停止泵進(jìn)行維護(hù)。因此,以下編輯將討論這方面的溫度預(yù)防措施。  當(dāng)羅茨真空泵塞仍然很熱時(shí),環(huán)境溫度突然大幅度下降將導(dǎo)致羅茨泵殼收縮,從而導(dǎo)致泵停止旋轉(zhuǎn)。在極端壓力下工作時(shí),這一點(diǎn)尤其重要。因此,必須盡一切努力避免環(huán)境溫度突然變化。此外,操作員必須注意不要突然打開附近的百葉窗,其他門等,尤其是在冬天,要特別注意溫度差異。  此外,對于那些立式羅茨真空泵,請將其放在屋檐或檐篷下,以防雨淋。如果在發(fā)生火災(zāi)的情況下將水引向羅茨泵,則泵殼可能會破裂,尤其是灰鑄鐵泵殼。球墨鑄鐵羅茨型泵具有較高的強(qiáng)度,因此更適合承受這種熱波動(dòng)。  如果羅茨真空泵在極限壓差下運(yùn)行,則需要在排氣側(cè)安裝溫度傳感器,以防止過熱以及由此引起的任何損壞。這將在有限的溫度下生成警報(bào),并在泵達(dá)到高溫時(shí)將其關(guān)閉。  因此,在觀察羅茨真空泵的溫度變化時(shí),每個(gè)人都必須小心,以免疏忽大意并不能及時(shí)發(fā)現(xiàn)羅茨泵設(shè)備的溫度變化,從而間接損失理想的維修時(shí)間。同時(shí),我們必須牢記上述注意事項(xiàng),以便在設(shè)備溫度變化時(shí),可以根據(jù)正確的方法快速執(zhí)行維修操作。       閱讀這篇羅茨真空泵維修廠家介...
2019 - 12 - 17
真空泵廠家分析如何優(yōu)化真空壓力控制系統(tǒng)。真空泵廠家分析如何優(yōu)化真空壓力控制系統(tǒng)。芯片蝕刻工藝通常在受控的真空環(huán)境中工作。反應(yīng)空腔的功能是去除真空環(huán)境中保持工藝參數(shù)所需的不必要的水蒸氣、空氣和額外的反應(yīng)物質(zhì)。為等離子體發(fā)生反應(yīng)創(chuàng)建能夠的真空環(huán)境。為了降低蝕刻機(jī)真空壓力控制系統(tǒng)的成本,實(shí)現(xiàn)高真空獲取設(shè)備的清潔、簡化和小型化,同時(shí)為了提高真空系統(tǒng)的抽真空率和極限真空,系統(tǒng)中腔體、真空泵、連接管道和閥門的選擇非常重要。  為了確保蝕刻工藝所需的蝕刻機(jī)壓力的穩(wěn)定運(yùn)行,大泵速真空系統(tǒng)是要求小于不可的組成部件。真空泵廠家詳細(xì)介紹了真空泵的反應(yīng)室、選擇、真空閥的選擇、真空計(jì)和真空檢測開關(guān)、真空計(jì)和真空檢測開關(guān)以及連接管道。  真空泵廠家分析如何優(yōu)化真空壓力控制系統(tǒng)。從以下五個(gè)方面展開:  (1)反應(yīng)腔       反應(yīng)腔是真空系統(tǒng)的基本部件。不同的蝕刻反應(yīng)腔具有不同的形狀和尺寸,但是所有的屬于容器都處于負(fù)壓下。為了增加芯片容量,反應(yīng)腔體采用多工位設(shè)計(jì),要求真空泵的泵速滿足其要求。在多工位設(shè)計(jì)中,很難保證多工位芯片的一致性。真空泵的泵送速率必須增加。分子泵是最好的選擇。根據(jù)不同工藝的需要,反應(yīng)室壓力一般的工作在10-3-10-2托之間。確保反應(yīng)室的真空度和壓力、確保、反應(yīng)室在穩(wěn)定真空下的工作一直是真空泵廠家的研究課題。  (2)真空泵選擇  真空泵是獲得真空的...
2019 - 12 - 20
在使用過程中,2bea水環(huán)真空泵分離器液位的變化將直接影響使用真空泵設(shè)備的性能。因此,為了更好地使用能夠真空泵設(shè)備,減少損壞,企業(yè)應(yīng)掌握降低液位方法的解決方案。  2bea水環(huán)真空泵抽吸的氣體含有蒸汽,可能冷凝成水,以增加水位和電機(jī)功率。然而,更多的可能是由于水位下降(即使沒有水)和泵性能急劇下降,這導(dǎo)致冷凝器壓力的改變并影響發(fā)電機(jī)組的效率。我們通常使用機(jī)械浮球控制閥,一個(gè)控制進(jìn)水,另一個(gè)控制排水,使水位保持在一定范圍內(nèi)。除了使用這種形式保證液位的穩(wěn)定外,在事故情況下,與分離器相連通的現(xiàn)場磁翻板液位計(jì)上還安裝了上限和下限報(bào)警開關(guān),這些開關(guān)連接到控制室,并具有提供遠(yuǎn)程水位報(bào)警功能。液位控制也采用電磁閥補(bǔ)水和排水的形式。分離器上裝有液位開關(guān),輸出信號控制電磁閥的補(bǔ)水或排放。  水環(huán)真空泵液位的降低不僅會影響真空泵設(shè)備的正常運(yùn)行,還會損壞可能真空泵設(shè)備。因此,我們應(yīng)該將確保操作標(biāo)準(zhǔn)化為使用,并設(shè)置適當(dāng)?shù)姆€(wěn)定裝置,以確保內(nèi)部液位的穩(wěn)定。  在水環(huán)真空泵的長期使用過程中,如果出現(xiàn)的泵送量減少情況,引起的工作質(zhì)量會降低,如果泵送量增加,真空泵設(shè)備中會有殘余氣體,影響真空泵設(shè)備的運(yùn)行。這是要求,我們會做記錄。  結(jié)構(gòu)簡單,要求制造精度低,易于加工。吸力均勻,運(yùn)行穩(wěn)定可靠,操作簡單,維護(hù)方便等。然而,其應(yīng)用受到受到的限制,因?yàn)楫?dāng)水環(huán)真空泵的真空度超過-0.09Mpa時(shí),其泵送速度將大大降低,導(dǎo)致其...
2019 - 12 - 23
冷凝器是一種將汽輪機(jī)排汽冷凝成水的換熱器,也稱為再水化裝置。冷凝器主要用于汽輪機(jī)發(fā)電廠,分為水冷冷凝器和空冷冷凝器。水冷表面冷凝器主要由外殼、管束、熱水井、水室等部件組成組成。汽輪機(jī)的排汽通過喉部的進(jìn)入殼體,在冷卻管束上凝結(jié)成水,收集在熱井中,并由凝結(jié)水泵抽出。水(也稱為循環(huán)水)從進(jìn)水室進(jìn)入冷卻管束和出水室排出。本文介紹了選擇凝汽器水室使用進(jìn)口真空泵的參數(shù)。  凝汽器是電廠的重要輔機(jī)之一,主要用于汽輪機(jī)電廠。除了將蒸汽輪機(jī)的廢蒸汽冷凝成用于鍋爐re-使用的水之外,冷凝器還可以在蒸汽輪機(jī)建立的廢蒸汽處保持真空。  冷凝器由模塊、水室、上下排氣頸部、熱水井、膨脹箱、回流管、出水裝置、低壓旁路和其他部件組成。組裝水壓試驗(yàn)合格后,應(yīng)拆卸并交付水室和模塊廠。其中,冷凝器的水室主要由外殼、大接管、方法局域網(wǎng)、圓法蘭等組成。組成,冷凝器有八個(gè)水箱。  冷凝器水室氣體的產(chǎn)生及影響  在冷凝器的水室空間中,有大量的氣體溶解在冷卻水中。當(dāng)冷卻水在冷凝器熱交換后溫度升高,虹吸作用導(dǎo)致壓力循環(huán)水低于大氣壓,導(dǎo)致冷卻水中氣體溶解度降低,部分氣體不可避免地被分離出來。分離出的氣體不可可通過閥門排放到大氣中,使得分離出的氣體可能積聚在水室的頂部或循環(huán)出水管和主管發(fā)生的最高部分。當(dāng)氣體積聚到一定量時(shí),可能形成氣體阻力,嚴(yán)重影響循環(huán)水冷卻的正常流量,從而降低冷凝器冷卻的換熱效果,導(dǎo)致汽輪機(jī)背壓上升,熱耗增加,嚴(yán)重造...
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半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備中阿特拉斯真空泵的真空應(yīng)用

日期: 2020-07-17
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  1.半導(dǎo)體離子束刻蝕機(jī)的組成

  離子束刻蝕機(jī)由真空室、工作臺、快門、真空抽氣系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、電源和 電器系統(tǒng)等主要部分組成。該機(jī)在正常工作時(shí),首先將真空室的壓力抽至2×10-3Pa或更低,再調(diào)節(jié)Ar氣流量,使真空室壓力保持 在1×10-2~2×10-2Pa(如需要輔助氣體,如O2、CH2等,則可按一定比例與之混合), 然后啟動(dòng)離子源各電源,使離子源正常工作,從離子源引出一定能量和密度的離子束被中和器發(fā)射的電子中和后,轟擊工件進(jìn)行濺射刻蝕。工件表面必須預(yù)先制備溝槽的掩膜圖形。這樣裸露部分被刻蝕掉,掩蔽部分被保留下來,從而在工件表面形成所需要的溝槽圖形。

半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備中阿特拉斯真空泵的真空應(yīng)用


  2.真空系統(tǒng)

  真空系統(tǒng)有兩套,分別用于預(yù)真空室和刻蝕腔體。預(yù)真空室由機(jī)械泵單獨(dú)抽真空,只有在預(yù)真空室真空度達(dá)到設(shè)定值時(shí),才能打開隔離門,進(jìn)行傳送片。刻蝕腔體的真空由機(jī)械泵和分子泵共同提供,刻蝕腔體反應(yīng)生成的氣體也由真空系統(tǒng)排空。

  離子刻蝕機(jī)真空泵-阿特拉斯真空泵

  型號:單級旋片泵GVS系列,

  技術(shù)參數(shù):

  主要特點(diǎn):

  1.半導(dǎo)體工業(yè)用真空泵和系統(tǒng).

  2.科研儀器,真空加工用途真空泵和系統(tǒng).

  3.排氣控制.污水處理系統(tǒng),氣體處理系統(tǒng).

  4.油封旋片泵.產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域:PCB板業(yè),半導(dǎo)體行業(yè),CCL行業(yè),SMT行業(yè),光電機(jī)械,化工行業(yè)等。


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發(fā)布時(shí)間: 2024 - 10 - 17
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