一、超高真空可調(diào)式插板閥概述
1.此閥門為帶步進(jìn)電機(jī)的控制插板閥，在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上合理，外形上美觀，并具有精度高、使用可靠、壽命長等優(yōu)點(diǎn)，能廣泛應(yīng)用于需要調(diào)節(jié)閥門的開啟度來控制流量的超高真空設(shè)備中。
2.閥門分別以步進(jìn)電機(jī)傳動力矩為動力，通過傳動桿推（拉）動連桿機(jī)構(gòu)，帶著驅(qū)動體沿軸向運(yùn)動，驅(qū)動體通過擺桿或鋼珠與閥板連接，完成閥板開啟及關(guān)閉動作。
3.閥門作為一個(gè)節(jié)流元件動作，驅(qū)動由驅(qū)動器，步進(jìn)電機(jī)和控制器來完成，其中控制器提供一個(gè)位置控制模式，它允許控制閥以選定速度在開和關(guān)的任意位置，而電源控制也可手動調(diào)節(jié)，電源控制時(shí)，為脈沖信號控制，速度快，定位準(zhǔn)。
4.閥門的介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。
二、超高真空可調(diào)式插板閥特點(diǎn)
軸封為波紋管密封，其它密封件為氟橡膠，無潤滑劑設(shè)計(jì)；
閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接，漏率小；
閥體采用加強(qiáng)筋結(jié)構(gòu)，體積小、重量輕，外形美觀；
采用雙導(dǎo)軌軸承滾輪機(jī)構(gòu)，運(yùn)動平穩(wěn)；閥板整體式結(jié)構(gòu)，支撐力均勻；
步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動，閥門的閥板開啟位置任意可調(diào)，可用于調(diào)節(jié)流量。