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新聞資訊

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2018 - 06 - 21

由于羅茨真空泵是一種技術含量比較高設計比較精巧的設備，因此它具有非常多的優點，但是想要讓這些優點真正的發揮出來就需要學會正確的使用它。因此相關的工作人員在正式投入操作羅茨真空泵之前應該要接受一定的培訓懂得操作的技巧和方法，這樣才能夠使得設備更好的運轉，具體來說，羅茨真空泵得正確的使用方法包括以下幾個方面。一、經常調整羅茨真空泵葉輪轉子間隙在操作羅茨真空泵到時候，必須在相應的位置留一條連續的接觸線，通過這種方式來阻止氣體流回到真空當中，并且在運行時還應該要經常性的檢查兩轉子的嚙合情況。并且使用了一段時間之后，里面比較關鍵的元器件可能會因此而磨損，所以羅茨真空泵廠家提醒需要及時的進行檢查和修理。如果葉輪轉子間隙比較小的情況下，如果任其發展的話那么很可能會使電機過度發熱而導致損傷，因此需要進行一定的調整，特別是平時要經常的對相應的位置進行清理。二、經常檢查羅茨真空泵泵軸的密封狀態由于羅茨真空泵隨時要保證里面是處在真空的狀態，所以密封效果一定要做到位，因此隨時要檢查密封配件的效果，避免漏氣的情況發生。專業提供羅茨真空泵廠家介紹一般來說，要選用質量好一些的蜜蜂園事件，比如機械密封等等，最近新研發出來的瓷粉密封效果也不錯，值得一試。三、合理選用羅茨真空泵的轉數羅茨真空泵的轉數應該要根據實際的情況進行調整，理論上來說，增加圈數就會使排泄量也增加，并且是容積率上升但同時可能會因此而增加噪音。所以高...

使用真空泵的五點安全注意事項，你必須知道！

2018 - 08 - 29

一、真空泵使用中要注意人身安全在現場安裝真空泵是，除了操作真空泵時要注意安全，還應當采取一些普遍的預防措施來確保自己在工作環境的健康和人身安全問題。無論機器在不在運行，都務必穿戴合適的服裝。對電動泵進行維修時，也要確保穿戴上絕緣手套和保護頭盔。如果你工作或者百分的泵站和污水處理有關，確保用防水膠布包扎你的傷口，再小也要包扎，否則由直接同污水接觸引起、通過傷口或者眼睛、口腔膜感染，可能感染嚴重病毒，如果在現場受傷，應當立即用防水、殺菌、棉質的繃帶包扎，下面請看幾點重點注意事項：1. 實驗操作人員進行操作過程中，切勿攜帶電子產品。2. 實驗操作人員需佩戴真空設備專用操作手套進行操作，不能直接觸碰真空設備。3. 真空泵設備配件應在干燥箱內保存，并遠離具有腐蝕性的化學氣體或液體。4. 真空泵設備需定期進行擦拭，應選用無塵紙或無塵布配套酒精或丙酮進行清潔。5. 實驗室應保持一定干燥度，實驗操作人員應每日檢查實驗室的濕度及溫度情況。6. 實驗室應保持良好通風，以避免機械真空泵油氣所造成的影響。7. 操作人員應關注真空設備所使用泵的溫度，以免過熱導致儀器壽命縮短。8. 操作人員應在分子泵轉速降至安全線以下后，放入氮氣或液氮。9. 操作人員應密切關注高壓泵電源接口損耗程度，以防止操作人員觸電，確保安全。10. 實驗人員進行操作時，應嚴格按照各真空設備操作步驟進行閥門開關...

半導體行業應用的真空泵及注意事項

2018 - 11 - 03

半導體工藝真空主要用在蒸發，濺射，PECVD，真空干法刻蝕，真空吸附，測試設備，真空清掃等等鍵合工序，半導體生產制造過程中容易產生易燃易爆以及有毒的物質氣體，會對生產及人員安全造成威脅，因此，半導體真空泵應用時需要注意的幾個安全事項：　　1、定期清洗真空泵及其他附件、過濾、管道，避免超壓：　　半導體真空泵應用時，抽取介質過程中經過反應室與真空泵，其成分可能極為復雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會形成HCl；假設是油封式機械泵，這些氣體物質還可能與泵油發生化反。這些變化假設形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質，就可能堵塞真空泵或管路系統，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，一點中提到的危險性也更大。所以需要及時的清洗，并在必要的時候設置過濾設備。　　2、半導體真空泵有效稀釋有害氣體的濃度：　　半導體易產生前面所說的易燃易爆、有毒的有害氣體。所以半導體真空泵應用中在抽取這些介質時就必須防止它們在真空泵內或者排氣過程中發生一些不可控的反應。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質，在與空氣或氧接觸的時候，會引起燃燒甚至爆炸；氫氣在空氣中的混合比例達到一定程度與溫度時也會發生燃燒。這些都取決于該物質的量以及與環境的壓力、溫度的關系。因此半導體真空泵在抽取這些介質時，需要用氮氣之類的惰性氣體，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當時條件下的安全范圍.　　3、真空泵注意氧氣的濃度...

真空系統選用哪種真空泵？

2019 - 03 - 08

真空系統用何種真空泵，首先應根據系統的要求,其次應對該泵性能特點有詳細了解,比較了各種泵的優缺點后,再決定之, 這樣才能選用得適當。為便于選擇所要使用的真空泵,現將我國生產的各種類型真空泵總的情況歸納總結一下,簡略比較它們的特性和優缺點,看來是必要的。一、油封機械泵現生產的2X型旋片泵均為雙級,抽速為0.5~150升/秒,有全系列的產品。滑閥泵分單級(H型)、雙級(2H型)。抽速:H型為8 ~ 600升/秒;2H型為8~ 70升/秒。亦有成系列生產的產品。余擺線式泵抽速可很大,體積小,目前正在試生產。這類泵均用作獲得低真空,或作高真空泵的前級泵和預抽泵。帶有氣鎮裝置的可抽除潮濕空i。但極限真空比抽干燥空氣(不用鎮時)低-個數量級。泵的抽速系指進口壓強在760托時之抽速,當系統壓強下降時抽速亦下降,直至接近該泵的極限真空,抽速亦接近于零。其抽降系數有一定規定。二、機械增壓泵(羅茨泵) 工作壓強范圍10~5x10-4托,常用范圍2~5x10-3托,抽速范圍150~ 2000升/秒,我國已有成系列產品。這種泵最大抽速在2托~10-2托之間,需要前級泵,不能直接向大氣排氣。極限真空隨前級泵變化。與油增壓泵相比,工作壓強范圍較寬,最大排氣壓強較高(機械增壓泵10~30托,油增壓泵1 ~ 2托)&...

真空泵的選擇步驟，你了解嗎？

2019 - 04 - 26

1. 選真空泵要確認環境條件　　包括環境溫度、相對濕度、大氣壓力、空氣腐蝕性、危險區域等級、防塵防水要求。2. 選真空泵要確認操作條件　　指液體吸入側液面壓力（絕對）、排出側液面壓力、間歇或連續工作、位置固定或移動、安裝維修方便性。3. 選真空泵要確認介質性質　　包括介質名稱、溫度、密度、粘度、飽和蒸汽壓力、固體顆粒直徑和含量、氣體的含量、腐蝕性、揮發性、燃爆性、毒性。4. 選定真空泵過流部件的材質　　根據泵送介質的物理化學性質主要考慮以下幾個方面：　?。?）介質的腐蝕性，　　泵過流部件的耐腐蝕性能滿足使用要求即可，不可追求過高的耐腐蝕性能，否則，將大幅度增加泵的購置成本?！　。?）介質是否含固體顆粒，　　因為固體顆粒的硬度和含量直接關系到泵過流部件的耐用性?！　。?）介質的溫度（壓力），　　介質的溫度（壓力）越高，泵過流部件的材質強度應越高。一般的，溫度250℃時，應選用鑄鋼件或鋼件?！　。?）有衛生級或禁止污染要求的介質，　　選擇相應的過流部件材質。另外，泵的結構應是便于清洗的。5. 選定真空泵性能參數　　（1）計算法　　A. 流量：它直接關系到整個裝置的生產能力和輸送能力。如工藝設計中能算出泵正常、最小、最大的三種流量。選擇泵時，以最大流量為依據，兼顧正常流量，在沒有最大流量，通常可取正常流量的1.1倍作為最大流量?！　. 揚程：一般要用放大5%-10%余量后的揚程...

真空泵的保養方法

2019 - 07 - 02

必須由經過適當培訓的技術人員維護真空泵，以確認技術人員熟悉泵油和系統的產品。必須在維護之前停止泵，降低到安全溫度，斷開泵和其他組件和電路。為了避免事故。維護完成后，在連接電源之前重新檢查泵的旋轉方向。如果損壞，O形圈和墊圈不可回收。在操作過程中，真空泵和油被化學品污染。因此，應確認泵是否清潔并采取適當措施防止這些有害物質對人員造成傷害。維護完成后，應檢查是否有泄漏，如果有，則應重新密封。請勿接觸或吸入高溫（260°C）泵的熱降解產品，這些產品很危險，包括油，油脂和真空潤滑脂。檢查前真空泵油位：如有必要，您可以在泵運行時檢查油位，但如果您想加油，則需要斷開前置真空泵和相關組件與電源的連接。 1.通過前置真空泵的可見窗口檢查油位是否高于最小極限并低于最大極限。 2.如果油位等于或低于最低限制，打開油孔并加油至最大限度。如果加太滿，則可以從出口釋放該點。 3.如果油污嚴重，請排出受污染的油并清潔泵并加入清潔的油。更換前置真空泵油： 1.打開泵10分鐘，加熱泵油，然后加熱關泵（加熱后油可以降低其粘度，更容易倒出）。 2.斷開泵與回路和真空系統的連接。 3.從填充孔中拔掉塞子。 4.將泵放在合適的支架（如凳...

直排大氣羅茨真空泵基本原理

2019 - 07 - 08

羅茨真空泵內部冷卻,通過循環冷卻空氣將熱量從熱源帶走。被抽氣體。當它被壓縮或排出時，它被冷卻空氣冷卻。因此，泵可用于標準泵不能工作地點。泵室可以自冷卻，因為葉輪和工作室具有特殊的工作部件。當這個特殊部件工作時，工作室的一部分關閉，阻塞入口和出口，并穿過特殊通風口。冷卻氣體從壓力側流出或進入工作室，并從出口側充滿加壓冷卻氣體，并且氣體循環。氣體循環冷卻羅茨真空泵，特殊葉輪頭控制冷空氣流量而無需額外的控制元件，因此這個內部循環冷卻羅茨真空泵與普通的羅茨真空泵相同，結構簡單干凈。它將冷卻器連接到排氣口，冷卻器安裝在泵殼的外部，便于維護和更換。如果冷卻器設計正確并且輸送冷卻氣體的管道尺寸足夠大，則冷卻效果良好，因此羅茨真空泵可以在各種壓差條件下工作。泵加熱不僅取決于轉速，循環冷卻劑量，還取決于壓差，壓差是成比例的（與轉速成比例）。此外，泵葉片和泵殼之間的間隙必須保持最小。這有利于提高容積效率，以實現更高的真空度。氣體循環冷卻羅茨真空泵最適合排放和壓縮氣體或蒸汽的過程。這些排出或壓縮的氣體在進入泵之前不應與油或有害液體接觸。低溫恒溫器就是這種情況。如果進氣和排氣之間的壓力差很大并且所需的極限真空度很高，請考慮串聯使用三個羅茨真空泵。除此之外，還有水冷或多級泵。

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Hot News / 熱點新聞

羅茨水環機組：塑膠廠“全年無休”的硬核生產力引擎

發布時間: 2025 - 04 - 29

來源: 231

羅茨水環機組：塑膠廠“全年無休”的硬核生產力引擎在塑膠加工行業，設備宕機是懸在生產線上方的“達摩克利斯之劍”。傳統真空泵因故障頻發、能耗失控，常讓企業陷入“停機搶修—訂單積壓—利潤縮水”的惡性循環。而羅茨水環真空機組的出現，正以“全年無休”的穩定性、“三防一體”的硬核性能，重塑塑膠廠的生產邏輯。工人從“救火隊員”變身“巡檢員”，老板直呼“省下的錢夠換輛特斯拉”——這場由真空系統引發的效率革命，正在...

物料的真空吸送系統

發布時間: 2019 - 07 - 12

來源: 105

1.真空吸送概述真空泵或風機用作動力源，在系統內部產生真空，物料在管道中以懸浮狀態運動，工作氣體和物料被分離器分離，真空抽吸。與其他物料輸送方式相比，真空吸附的優點是設備簡單，占地面積小，吸料輸送可靠，操作簡單。它可以從幾個地方集中到一個地方，或從一個地方集中到另一個地方。幾次分散輸送，連續卸料和間歇卸料;整個系統在工作中處于負壓狀態，無灰塵，工作環境良好。相反，缺點是能量消耗高并且肘部的磨損更嚴重。但是，國外的一些設備已經通過在彎管內壁插入軟橡膠來解決。根據真空度和真空泵的不同，真空吸力可分為高真空吸力和低真空吸力。高真空吸力通常使用噴射泵和水環泵作為動力源。系統真空度高，一般為5 * 104Pa-3 * 104Pa，氣流也小。國產sz-4水環真空泵的真空度為60.在％時，理論空氣流量僅為660m3/h。低真空吸力通常使用離心式風扇和通風機作為動力源。系統真空度低，一般為9 * 104Pa-8 * 104Pa，所以輸送距離近，不超過50m，但風量大，常常是7-17-17 1/2風扇。使用，風量可達1800m3/h。真空吸塵器已廣泛應用于國內外，從大型船舶的裝卸到冶金和鑄造的散裝物料，以及粉塵廠，啤酒廠的運輸，除塵，清洗，灰化處理，這種方法可用于運輸和處理散裝物料的地方。據報道，真空吸塵裝置是由國外的特殊制造商生產的，整個系統的定型零件是標準化和系列化的。 2.真空吸氣系統的主要類型和組成以下是以高真空抽吸系統為例介紹系統中的主要設備。 1.噴嘴裝置比較簡單，但卻非常關鍵。通常，噴嘴插入散裝材料中。主要有兩種類型，一種是單缸，另一種是雙缸。當系統被抽空時，大氣通過材料的一次空氣，二次空氣通過噴嘴主體的開口進入，使材料進入進料管。無論是單缸還是雙缸，都必須調節噴嘴的二次風量。它可以通過實際探索和調整到最佳位置。 ...

冷凍干燥過程中用真空系統

發布時間: 2019 - 07 - 12

來源: 143

真空系統由真空容器，真空泵，真空閥，真空計，真空密封，冷凝器和管道組成。一.真空系統的基本要求 (1)根據凍干材料的需要，應能達到一定的真空度和工作真空度。極限真空是在不泄漏系統的情況下可以實現的最低壓力;工作真空是在某個過程中可以保持的真空。（2）在盡可能多的條件下提高有效抽速，縮短抽水時間，降低凍干產品的成本。（3）系統結構簡單，牢固，易于操作，易于維護。二.真空系統密封有兩種真空密封，一種是金屬或陶瓷永久密封或玻璃和金屬焊接;另一種是可拆卸的靜密封和動態密封。靜密封通過部件連接并在密封后保持靜止;動態密封必須確保運動和密封。可拆卸的真空密封，在組件接頭法蘭的中間必須有密封材料，通過壓制，緊固來實現密封?？梢愿鶕婵斩冗x擇不同的密封材料。常用的密封材料有:橡膠，聚四氛乙烯，軟金屬鋁，無氧銅等。真空潤滑脂用于在兩個光滑表面之間進行真空密封和潤滑。真空密封蠟用于填充真空系統中的小泄漏。真空密封分為真空泥和真空蠟。三.干燥箱干燥箱是真空系統的重要組成部分之一，其真空性能會影響整個冷凍機的性能。它既是真空室又是凍干材料的容器。四.集水器集水器是真空系統容器之一，其作用是從材料的升華中捕獲水蒸氣以保護真空泵。疏水閥也稱為疏水閥，冷凝器和冷阱。五.真空管和真空閥在干燥箱和捕水器，捕水器和真空泵之間有真空管，并且提供真空閥以控制打開和關閉，流量最小等。根據閥門的工作強度，真空閥可分為低真空閥，高真空閥和超高真空閥。因此，真空閥的選擇主要取決于其使用和使用條件，其型號尺寸，它取決于管道的直徑。六.真空測量真空通常以壓力表示。因此，真空錐體歸因于真空環境中的壓力測量。真空測量是真空技術中同樣重要且密切相關的部分。傳統的真空測量方法是直接測量壓力。例如，U形管...

水環式真空泵機組

發布時間: 2019 - 07 - 12

來源: 65

水環真空泵機組可以理解為水環真空泵閉式循環系統，水環真空泵負壓站，羅茨水環真空機組，這種產品在很多用戶心目中稱為水環真空泵機組，每個水環以下的組成和真空泵機組的功能簡述如下：水環型真空泵閉式循環系統：水環型真空泵閉式循環系統一般由水環型真空泵，蒸汽分離器，換熱器組成，單個由閥門，供水電磁閥，球閥，管道，電接點真空計，控制柜，框架等組成。主要功能是回收水環真空泵中的工作液，一般缺乏化學工業和水資源。企業可以使用這個水環真空泵機組，這可以大大減少水資源或化學工作液的可持續利用，從而降低企業的成本。水環真空泵負壓站：水環真空泵負壓站一般由水環真空泵，真空緩沖罐，蒸汽分離器，換熱器，止回閥，供水電磁閥，球閥，管道，控制柜，真空計，機架等組成，主要有功能是在負壓運行期間為負壓需求存儲一定的負壓，保證負壓的及時供給，還有效的水資源為節省，并且在防滑分離器和換熱器的情況下，可以直接組成水環真空泵和真空緩沖罐，也可以形成水環真空泵負壓站。無論哪種水環真空負壓站，都可以配備。電接點真空計和控制柜通過調節真空的上下限來控制真空泵的啟動和停止。這種水環真空泵單元在醫療行業和V型鑄造行業中具有共同的應用。羅茨水環真空裝置：羅茨水環真空機組一般由水環真空泵，止回閥，球閥，波紋管，羅茨真空泵，供水電磁閥，控制柜，電接點真空表，管道，機架等組成，真空單元為羅茨水環，真空單元為水環泵閉式循環系統和水環真空負壓站具有抽速大，真空度高的優點，羅茨水環真空單元為羅茨泵為主泵，水環泵為前級泵的串聯連接。羅茨水環真空裝置使用水環泵作為前級泵。它比其他真空泵更有利。當使用單個水環泵時，它克服了極限壓差（與水環泵相比，單元的極限壓力大大提高）。在壓力下泵送速率低的缺點，同時保持羅茨泵可以快速工作，具有大泵速的優點。特別是能夠適應去除大量可冷凝蒸汽，特別是當氣鎮油封機械真空泵，以消除可...

水環式真空泵氣水分離器特點和工作形式

發布時間: 2019 - 07 - 12

來源: 234

從水環式真空泵排出的氣和部分水，進入氣水分離器后，水流向分離器的下部，氣體被分離出來，并通過分離器的排氣管排出。對于水環壓縮機來說，分離器是必需的設備。它的主要作用是使從泵排氣管排出的氣與水分離，并使分離后的氣體通往需要氣體壓力的設備中去。此外，有的氣水分離器還起向泵內供應補充冷卻水的作用。對于水環真空泵，可不用氣水分離器，但是，若泵所使用的液環要回收作循環使用（例如為了避免浪費，有回收價值或有害，有毒的液環），或者在沒有自來水的場合，即泵內補充水水斷斷的情況下，就必須安裝氣水分離器，以便向泵內供水。此外，分離器還可以消除水環式真空泵運行時產生的噪音，故又叫消音器。真空泵用設備和壓縮機用設備的區別，僅僅在于氣水分離器的不同: （1）前氣水分離器的壓力等于大氣壓（排氣管直接通入大氣），分離器的頂部是平的，這樣可使得制造工藝簡單，后者氣水分離器內的壓力等于所需的某一排氣壓力，分離器的頂部是球面形的，以便增加承受氣體壓力的強度。（2）溢水系統不同真空泵氣水分離器的溢流系統是普通水管。當分離器的水位超過溢流管的水平線時，水將通過水管排出以維持裝置中的水位，以及用于壓縮機的氣水分離器。溢流系統為浮子調節閥，內部空心浮子。當設備中的水超過浮子時，浮子向上浮動，以特殊螺釘為軸，驅動與螺栓連接的搖桿旋轉，搖桿的右端連接到工作站螺釘的一端，工位螺釘的另一端嵌入套筒的槽中。當搖桿向下旋轉時，套筒通過固定螺釘旋轉，以在溢流開關的外圓周上旋轉。溢流開關中的孔連接，使得水沿著溢流管通過孔流出管。然后水位逐漸下降，浮子也下降。搖桿被驅動向相反方向移動。套管上的孔逐漸從溢流開關上的孔移開，直到水位下降到水平位置浮子以下。浮子處于水平位置，上述兩個孔完全交錯隔離，分離器中的水停止溢出。從上述工作原理可以看出，即使分離器中的水位低于溢流管的水平線，氣體也不能通過溢流系統（和氣水的溢流管）流出分離器...

真空泵操作要點和注意事項

發布時間: 2019 - 07 - 12

來源: 126

真空泵操作要點水環真空泵運轉時，要不斷地充水以維持泵內液封，同時也起冷卻的作用，但泵所能造成的真空度受泵體中水的溫度所限制。液環真空泵可使抽出的氣體不與泵殼直接接觸，因此.在抽吸腐蝕性氣體時只要葉輪采用耐腐蝕材料制造即可。泵內所注人的液體必須不與氣休起化學反應。例如，抽吸空氣時可用水，抽吸氮氣時可用濃硫酸。還應注意所用液體應不含固體顆粒，否則，將使葉輪與殼體常受磨損，降低抽氣能力。單級蒸汽噴射泵僅可得到90%的真空，如果要得到95%以上的真空，則可采用幾個蒸汽噴射泵串聯起來使用，便可得到更大的真空度。真空泵操作注意事項真空系統啟動時，要先用機械泵將系統抽至低真空，再接通擴散泵冷凝水.然后逐漸加熱使油沸騰并正?；亓骱笤賳佑蛿U散泵。關閉油擴散泵時.需先切斷加熱器電源，待油停止沸騰后再關冷凝水，再關閉擴散泵前后兩個活塞，接著將機械泵的抽氣日通大氣后才能停機械泵.通常在機械泵和油擴散泵之前安一冷阱，以免有機物、水汽等雜質進入機械泵，影響泵的工作性能。冷阱的冷卻荊可按需要選用干冰、液氮等。對玻璃真空系統的檢漏，使用高頻火花真空檢漏儀較方便。它是利用低壓強氣體在高頻電場中，發生感應放電時所產生的不同顏色，來大致估計真空度量級，以判斷系統是否漏氣。實際檢漏過程如下，啟動機械泵數分鐘后，系統的真空度可達1.333~13.33Pa。真空泵表面清潔的重要性在真空系統的暴露表面上單一層單分子層氣體的氣體里基本上就是一個無限的氣源，這使真空泵處于滿負荷工作狀態?？梢姽獾牟ㄩL為5x10-5cm左右，而單分子層中分子之間的間隔為10-7cm。了解這一點可以更突出單分子層的微小程度。當裝配真空系統時，必須用液體對其表面進行化學清洗，并要求清洗液在蒸發干燥后，其殘留物完全可忽略不計。此外，用于最后清洗的液體的蒸氣壓必須足夠高，以便在不太長的時間內可以揮發、干燥。

真空泵在不同應用中的效果不同

發布時間: 2019 - 07 - 11

來源: 89

因為種種真空泵的功能除均能饜足對容器停止抽真空的配合點之外，尚具有差別之處。因而在選用時必需明白泵在真空體系中所承當的事情使命是非常緊張的，真空泵在種種差別事情范疇中所起的感化歸結起來重要有如下幾個方面。1、在體系中做主泵所謂主泵便是對真空體系被抽容器間接停止抽真空，以取得饜足工藝請求所需真空度的真空泵。 2、粗抽泵粗抽泵是指從大氣壓開端低落真空體系壓強到達另一抽氣體系能夠開端事情的真空泵。3、前級泵前級泵是指用于使另一個泵的前級壓強維持在其最高答應的前級壓強以下的真空泵。4、維持泵維持真空泵是指認真空體系抽氣很小時，不可以有用的應用重要前級泵。為此，在真空體系中另配一種抽氣速率較小的幫助前級泵來維持主泵的正常事情或維持已抽閑的容器所需的高壓的真空泵。5、粗真空泵或低真空泵粗、低真空泵是指從大氣開端，低落被抽容器的壓強后事情在低真空或粗真空壓強范疇內的真空泵。6、高真空泵高真空泵是指在高真空范疇事情的真空泵。7、超高真空泵超高真空泵是指在超高真空范疇事情的真空泵。8、增壓泵增壓泵平日指事情在低真空泵和高真空泵之間，用以進步抽氣體系在中心壓強范疇的抽宇量或低落前級泵抽氣速度請求的真空泵。

真空泵在性能、結構和工作原理怎么分類

發布時間: 2019 - 07 - 11

來源: 61

真空泵在性能、結構和工作原理怎么分類,下面小面就給大家介紹一下(1)按真空泵性能特點和用途分類低真空泵:此真空泵的極限壓強高于1.33Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的有往復式真空泵、旋片式真空泵、水環式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。中真空泵:極限壓強在10-2~1.33pa之間的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵等。高真空泵:極限壓強在10-6~10-2pa的真空泵屬于高真空泵。各種擴散泵及分子泵等屬于高真空泵。超高真空泵:極限壓強低于10-6Pa的真空泵屬于超高真空泵。超高真空泵主要有離子泵、低溫泵等。 (2)按真空泵結構特點分類機械式容積真空泵:這種泵是靠機械動作使泵腔工作容積周期變化來實現抽氣作用的。如往復式真空泵、旋轉式機械泵等都屬于此類泵。射流式真空泵:這種泵沒有機械運動部件.主要靠通過噴嘴的高速射流來抽真空。屬于這類泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴散泵等。其他類型真空泵:這類泵多屬于獲得高真空、極高真空或高純潔真空泵的泵類，如吸附泵、分子泵、離子泵、冷凝泵等。 (3)真空泵按工作原理分類這是真空泵的基本分類方式，根據工作原理的不同各種真空泵可分為往復式、旋片式、滑閥式、機械增壓式、噴射泵、擴散泵、分子泵、離子泵、冷凝泵等。

水環式真空泵的工作原理及工作的三個階段

發布時間: 2019 - 07 - 11

來源: 84

工作前泵內必須充以一定數量的工作水是水環式真空泵能夠工作的必要條件。向泵充入水后，當葉輪旋轉時，水被帶動旋轉，形成一緊貼泵殼內壁的水環，水環內表面與葉輪輪毅表面及兩側蓋端面之間形成一個月牙形的工作空間。該空間被葉輪的葉片分隔成若干個互不相通的腔室。這些腔室的容積隨著葉輪的回轉將會周期性地變大和變小。顯然，腔室容積變大時將吸入流體，腔體容積變小時將會擠壓和排出流體。吸入、壓縮和排出三個工作階段便組成了水環式真空泵的一個工作循環。以輸送氣體為例: (1)吸入過程當葉間轉過圖中的右半轉時，由于葉片外端與偏心的泵殼間的距離增加，葉間的液體就會被甩出，使葉間腔室的容積逐漸增大，氣體便通過側面的吸入口被吸入。 (2)壓縮過程當葉間轉過吸入口開始進入圖示左半轉時，由于泵殼與葉片外端的距離逐漸縮小，葉輪外按圓周方向高速流動的液流便會擠入葉間。這樣，在葉間尚未與排出口相通時，其中的氣體便受到壓縮。 (3)排出過程當葉間轉到與排出口相通時，葉間腔室中的壓力即會在瞬間與排出壓力相平衡，并在葉輪隨后的轉動過程中，由于葉外的液體不斷擠入葉間，從而將氣體排出。可見，水環式真空泵的工作原理與葉片泵有非常相似之處，即都是靠工作腔室的容積變化來產生吸排，但兩者卻有著重要的差別。水環式真空泵中的定子是由一個旋轉水環構成的，而這個水環是由葉輪給予工作水的動能所形成的。水環中的液體在右半轉中是靠葉輪帶動其回轉而獲得了一定的能量，并被甩到葉外的流道中;而在其進入左半轉后，也就只能憑借其已獲得的動能擠入葉間，壓縮氣體。這樣，葉輪外的液體流速必然會隨著壓力的增加而降低。當排出壓力升高到一定的數值時，葉輪外液體的速度也就會降到很低，從而不能進入葉間去壓縮氣體。也就是說，水環式真空泵中的氣體在壓縮階段壓力能的增加，完全是靠工作水獲自葉輪的動能轉換而來的。因此，水環式真空泵的排出壓...

羅茨真空泵需要注意的使用誤區

發布時間: 2019 - 07 - 11

來源: 90

1、羅茨真空泵使用必須配備前級泵，羅茨真空泵不可以單獨使用。2、羅茨真空泵多用在羅茨真空機組中，它的作用是提高抽速和前級泵的真空度。羅茨真空泵在與前級泵連接的中配需配備旁通閥，這樣可以有效的保護羅茨真空泵，如果前級泵的抽氣不穩定或者其他因素導致整個機組的工作不正常帶有旁通閥的羅茨真空泵此時會起到保護羅茨真空泵的作用，從而延長整個真空機組的壽命。深圳恒才生產的羅茨真空泵都配備有旁通閥，用戶可以放心使用。3、在選擇羅茨真空泵的時候需要注意的是羅茨真空泵的易損件密封方式是哪一種，深圳恒才生產的羅茨真空泵采用的都是機械密封的方式，這樣可以有效的提高羅茨真空泵的工作效率，如果羅茨真空泵的密封方式選擇軸套密封的話工作效率則會大大降低，在選擇羅茨真空泵的時候需要特別注意。4、羅茨真空泵在使用過程中如果導致真空度降低，此時需要檢查不可缺少的一點是羅茨真空泵轉子之間的間隙是否有所變化，如果羅茨真空泵的轉子間隙變大，則需要更換羅茨真空泵，因為此類羅茨真空泵在生產加工過程中沒有對羅茨真空泵轉子做靜動平衡，或者是采用軸套密封的。

半導體工藝中干式真空泵的種類

發布時間: 2019 - 07 - 11

來源: 78

油式真空泵是半導體行業中常用的真空泵種類，最主要的特點是真空度高，能滿足新型行業的特殊工藝要求，其中又以旋片式真空泵和往復式真空泵為主要代表。隨著時間的推移，社會的進步，它們在各種應用中的表現越來越不能使人們感到滿意，比如旋片式真空泵不能抽水蒸氣和可凝性氣體及易腐蝕性氣體等，因此，干式真空泵應運而生。在過去的十多年里，有好幾種不同類型的干式真空泵被設計和生產出來，它們在機械結構設計上有明顯差異。因為這種差異，我們可以將干式真空泵歸納為以下幾種類型：圓裂片式，爪式，組合式（羅茨＋爪），螺桿式。當今，這些類型被不同生產廠家所廣泛應用。其中，圓裂片式，爪式和組合式（羅茨＋爪）被稱為多級泵。因為它們的工作方式大致相同，都是利用多級真空腔對氣體進行反復的壓縮來產生真空。在多次反復壓縮的過程當中，氣體的溫度和壓力也產生比較復雜的變化，因而比較容易引起氣體物理特性的變化。而螺桿式被稱為單級泵，因為它只靠一個真空腔來產生真空。根據其氣體壓縮方式的不同，又可將其分為內部壓縮型螺桿泵和外部壓縮型螺桿泵?，F在很多的干式真空泵應用到半導體行業中,用于取代油式真空泵.這樣做不僅滿足生產所需的真空度,也能滿足行業中的特殊工藝要求.

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